2007年12月19日，中科院微電子所微電子設備技術研究室成立，夏洋研究員擔任研究室主任。研究室的主要研究方向包括新型集成電路制造與測試裝備、新型太陽能電池制造技術和裝備、高效率LED(發光二極管)制造技術和裝備、MEMS(微機電系統)加工技術和裝備及關鍵的射頻功率源系統技術。

　　憑借近30年的技術積累以及全體人員的努力，經過近5年時間的發展，研究室的研究成果占領國內IC(集成電路)領域新原理設備制高點，在國際上與現有技術生產廠商形成競爭態勢，設備主要包括等離子體浸沒注入機、原子層沉積設備、光學檢測系統、射頻電源等，當前研究室的產品已廣泛用于國際國內涉及微電子、光電子、MEMS等領域的企業、高校及研究機構。

　　近日，儀器信息網編輯特別采訪了夏洋主任，請他談了談研究室在儀器設備研制、產業化方面的經驗及我國科學儀器研制的政策支持情況。

在儀器研制方面都有哪些經驗?

　　“5年前，當時微電子研究所里有三四個儀器研究團隊，都是一個研究員帶幾個助手，大家各自為戰，這樣力量比較分散，于是我向所里建議把這些團隊合并起來，所里對我們的建議很支持，希望我們能將微電子設備技術的研究做大、做強，在2007年末正式成立微電子設備技術研究室”，夏洋主任介紹說。

　　(1)進行團隊建設，堅持做好一件事

　　“研究室成立后所里進行儀器研制的各項資源就集中起來，之后我們又購置研制儀器所需的各項裝備、招聘所需的人才，這樣我們的研究平臺就形成一定的規模。起初我們只有30人左右，當時也不好招人，沒人愿意來，缺乏相關專業的人才，現在隨著我們科研能力的提升，以及國家對儀器行業投入的加大和重視，來自海外和國內的求職者都特別多，至今已形成了約150人的團隊。”

　　“在我們的團隊中不僅有4名國家‘千人計劃’人才，七八名‘百人計劃’人才，還有十幾名退休返聘人員，他們年齡大的有70多歲。在管理機制方面，我們也不會墨守成規，在我們的團隊中有人想創業，我們也允許他們一邊做科研，一邊組織團隊成立公司。我們堅持唯才是用，只要是有用的人才，我們不會去限制他們發揮自己的才能，而是為他們提供機會更好地展示自己的能力。”

　　(2)科研和生產兩條腿走路，在資金和技術方面相互支撐

　　資金短缺也是儀器研制當中常常面臨的一個問題，很多項目研制出一臺樣機之后，由于沒有后續資金支持，進行進一步的商品化開發，所以就被擱在實驗室里，很難對國外儀器形成競爭，對我國的科研開發也難談真正的貢獻。

　　夏洋主任介紹說：“研究室現在是科研和生產兩條腿走路，這兩部分工作在資金和技術上相互支撐。我們一邊進行儀器研制，一邊生產儀器進行銷售，同時我們和企業也有一些合作項目。在銷售方面我們現在還沒有開始做太多的工作，客戶主要集中在科研院所，每年銷售收入在1000萬至2000萬元。”

　　“現在我們研制第一臺樣機基本都是依靠國家資金的支持，第二臺樣機的研制經費就得靠自己來解決，做到第三臺樣機，我們就爭取訂貨銷售出去。目前我們已經形成了這樣一個良好的工作局面。”

　　(3)和企業合作是進行儀器研發的一個非常重要的方向

　　“另外，儀器研發和企業合作是一個非常重要的方向，關起門來搞科研容易與社會需求脫節。而且儀器研制中硬件技術是一方面，方便用戶操作使用，以及更好地解決實際應用問題，這是另一方面，之前已經有不少企業和我們合作，他們的思路和看問題的角度與我們不一樣，對我們來說幫助很大”，夏洋主任談到。

　　“同企業的合作中存在的一個主要問題是，對于市場的變化，企業更多的是關注眼前，‘看單下菜’，難以做出長遠的布局，這樣在市場競爭中，很難搶占先機。所以在合作中，我們需要更多的溝通和理解。”

　　“同時和企業合作，信任度以及利益分配機制也是一個的問題。解決這一問題的主要方式是雙方在合作中要有誠意。一般在合作中，我們希望企業人員參與研發過程，并將相關的技術教給他們，同時項目交接后我們也派出團隊去企業當中，進行后續跟進，幫助企業解決問題，這樣既幫助企業培養人才，解決問題，同時對于防止我們自己的人才流失也很有幫助。在資金方面，對于企業來說他們會擔心投資風險，所以目前我們的合作方式一般是先直接收取一部分資金用于研發，另外一部分資金從項目投產后的長遠收益中獲得。”

　　(4)未來瞄準教學儀器市場

　　對于研究室未來的研究規劃，夏洋主任表示，“我們發現隨著儀器自動化、智能化的提升，以及昂貴的價格，使學生的動手能力受到了很大的限制。所以我們希望能做一些教學儀器，這類儀器要很好的展示儀器原理和設計，操作性強，要能夠更好地互動。進口儀器現在還沒有關注這一領域，而且我們做這類儀器有成本優勢，所以市場前景還是比較樂觀。”

　　國家對科學儀器研制的資金支持情況?

　　談到近年來國家對于科學儀器研制的資金支持情況，夏洋主任說到：“我國的科學儀器行業的發展從建國到改革開放逐漸發展到一個頂峰，后來逐漸穩定下來，從上個世紀九十年代開始，國家逐漸重視科學儀器的發展，現在經過多年的發展正在逐漸達到另一個峰值。”

　　“1993年，在國家財政依然十分緊張的情況下，中科院就設立了儀器設備的專項資金。至2000年，共支持研制和改造科學儀器科研項目總數達400余項，支持經費總額約為1.5億元。截止到2006年底，中科院科學儀器自主研制項目從初的每年8項增長到每年40多項，累計總投入約3.7億元，平均項目支持強度超過200萬元。”

　　“國家自然科學基金委(基金委)于1998年設立了科學儀器基礎研究專項，當年一共資助了5個項目，總資助經費400萬元。而到2011年，基金委科學儀器基礎研究專項共資助55項，金額1.5億元，并啟動了國家重大科研儀器設備研制專項，首批重大科研儀器設備研制專項資助9項，金額5.7億元。”

　　“另外，科技部、財政部2011年首次啟動‘國家重大科學儀器設備開發專項’。重點支持具有市場推廣前景的重大科學儀器設備開發，每年的支持金額達到數十億元。”

　　科學儀器研制還需要哪些方面的支持?

　　國家對于科學儀器研制的資金支持，可以說是達到了前所未有的高度，那么在項目執行當中，還需要注意哪些問題呢?夏洋主任也談了幾點自己的看法。

　　(1)選擇具有研發實力的企業給予支持

　　“現在我國提倡技術創新應以‘企業創新為主體’，國家重大科學儀器設備開發專項也優先支持科學儀器設備企業作為實施主體的項目。創新是一個研發的過程，需要企業有配套的研發人員及研發平臺。中國的企業大部分沒有成型的研發隊伍，企業有生產能力，但研發能力不一定強，所以要確保項目的順利完成，一定要對企業的綜合研發實力，以及進行某類具體儀器研發的技術積累進行考核。”

　　(2)國家整體政策要配套

　　“另外，國家整體政策不配套也是一個問題，比如按照《科學研究和教學用品免征進口稅收規定》，我們現在進口科研儀器整機是免稅的，但進口零部件不免稅，所以研發儀器的成本比整機要貴很多，這樣是不利于促進科研院所的老師們進行儀器研制的。”

　　(3)進行科學儀器研制平臺建設

　　“此外，我認為儀器研發一定要進行團隊或平臺建設才行，一方面儀器研發是多種技術的融合，需要的綜合知識特別強，如物理、化學、材料、機械設計、自動控制、軟件等，所以一定要注意合作和團隊建設，一個人單獨做很難完成。”

　　“另外儀器的研制需要一代一代的堅持研究，在儀器研制過程當中，搭建出來的第一臺儀器只要自己能用就已經很了不起;然后再通過不斷改進，推出第二臺樣機，如果第三臺能做成商業機型就已經很順利，從開始研制到后實現產業化，整個過程大概得三五年時間，甚至更長才行。現在許多老師，在儀器研制方面有好的想法，但是帶著一批學生做了3年之后，學生畢業了，課題經費也沒有了，這個項目就結束了，沒有持續跟進。”

　　“研制儀器需要不斷的堅持，國外的許多儀器企業都有上百年的歷史，其實從原始創新到實現商業化產品，一般也得10-20年的時間，然后再通過一代一代的積累和更新，儀器的性能越來越好。所以如果通過買儀器來做研究，我們在技術起步上至少比別人落后10-20年，很難實現超越。”

　　“因此國家或許可以設置專門進行儀器研發的重點實驗室，這樣有一個固定的人員和研發平臺，希望通過持續的研究能實現從原始創新，到研制出可用于科學研究的儀器，后到實現規模化生產的儀器這一流程，而不是半途而廢，這樣我們的科學儀器事業才能逐漸發展起來。”

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